工業超純（chún）水設備工程：  超純水：既將水中的導電介質幾乎完全去除（chú），又將水中不離解的膠體物質、氣體及有（yǒu）機物均去（qù）除至很低程度的水。純度極高的水，電阻率大於18MΩ*cm，或接近（jìn）18.3MΩ*cm極限值。在集成電（diàn）路工業中用於半導體（tǐ）原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模（mó）版的製備和矽片氧化用的（de）水（shuǐ）汽源（yuán）等。集成電路的集成（chéng）度越高，線寬越（yuè）窄，對水質的要（yào）求也（yě）越高。

目前我（wǒ）國電子工業部把電子級水質技術分（fèn）為五個行業等級，分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以（yǐ）區分不同水質。此外，其他固態電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的製作也都要使（shǐ）用超純水。如今超純水已在生物、醫藥、汽車（chē）等領域（yù）廣泛應用（yòng）。

工業超純水（shuǐ）設備的特點：   工業超純水設備通常（cháng）由多介質過（guò）濾器，活性碳過濾器，鈉離子軟（ruǎn）化器（qì）、精（jīng）密過濾器（qì）等構成預處理係統、RO反（fǎn）滲（shèn）透主（zhǔ）機係統、離子交換（huàn）混床（EDI電除鹽係統）係統等構成主要設備係統。原水箱、中間水箱、RO純水水箱（xiāng）、超（chāo）純水水箱均設有液位控製（zhì）係統、高低壓水泵均設有高低壓（yā）壓力保護裝置、在線水質檢測控製儀表、電氣采用（yòng）PLC可編程控製器，真正（zhèng）做到了無人值守，同時在（zài）工藝（yì）選材上采用推薦和客戶要求相統一的方（fāng）法，使工業超純水設備與其它同類產（chǎn）品相比較，具（jù）有更高（gāo）的性價比和設備可靠性。 工業超純水設備（bèi）的工藝流程；　　

電子行業製備超純水的工藝大致分為以（yǐ）下幾種：　　

1、采用反滲透水處理（lǐ）設備與離子交換設備進行組合的方式，其基（jī）本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設（shè）備→混床（複床）→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水點　　

2、采（cǎi）用離子交換樹脂製（zhì）備超純水的傳統水處（chù）理方式，其基本工藝流程為：原水（shuǐ）→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床（複床）→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水（shuǐ）點　　

3、采用反滲透水處理設備與（yǔ）電去離子（EDI）設備（bèi）進行搭配的的方式（shì），這是一種環保，經濟，發展（zhǎn）潛力巨大的超純水製備工藝，其基（jī）本工藝流程為：原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設備→電去離子（EDI）→純水箱→純水泵→後置精密過濾器→用水點工業超（chāo）純水（shuǐ）設備的應用領域（yù）；　　

1、半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路（lù）；　　

2、超純材料和超純（chún）化學試劑；　　

3、實驗室和中試車間（jiān）；　　

4、汽（qì）車、家電表麵拋光（guāng）處理；　　

5、光電產品；　　

6、其他高科技精微產品（pǐn）。